Keithley5G天天嗨天天爽4200A-SCS是一款高精度半導體參數分析儀，專為材料、半導體器件和先進工藝開發設計。它集成了電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和超快速脈衝式I-V測量功能，支持同步查看和分析器件的電學特性。以下是天天爱天天爽測試科技小編整理的其說明書，如需詳細電子版可聯係客服領取。

一、主要技術指標

I-V源測量單元（SMU）

電壓範圍：±210V

電流範圍：100mA（中功率模塊）或1A（高功率模塊）

分辨率：100fA（標配），選配前端放大器可提升至0.1fA

四象限操作：支持源和測量模式

C-V多頻率電容單元（CVU）

頻率範圍：1kHz-10MHz

AC阻抗測量：支持C-V、C-f、C-t測量

內置DC偏置源：±30V（60V差分），可擴展至±210V

脈衝式I-V測量單元（PMU）

脈衝電壓：±40V（80Vp-p）

脈衝電流：±800mA

采樣率：200MSa/s，5ns分辨率

瞬態波形捕獲：支持多電平脈衝

超低頻率電容測量：10mHz-10Hz

二、硬件配置與安裝

主機與模塊

主機：提供電源、控製單元及基礎接口

測量模塊：

4200-SMU：中功率源測量單元

4210-SMU：高功率源測量單元

4200-PA：遠程前端放大器模塊（擴展電流範圍）

4215-CVU：高分辨率多頻C-V單元

安裝步驟

將主機放置在平穩台麵，連接電源並接地

插入測量模塊，確保模塊固定牢固

通過三同軸電纜連接被測器件（DUT）

使用接地單元（GNDU）進行電路公共點連接（當使用超過兩個SMU時）

三、軟件操作指南

軟件啟動

啟動Clarius Software，選擇4200A-SCS主機進行連接

測試流程

選擇模塊：根據測試需求選擇SMU、CVU或PMU模塊

配置參數：

I-V測試：設置電壓/電流範圍、掃描步長、脈衝寬度

C-V測試：選擇頻率範圍（1kHz-10MHz）

脈衝I-V測試：配置脈衝電壓、電流和采樣率

執行測試：點擊“開始”按鈕，儀器自動完成測試並顯示結果

數據分析

軟件提供圖形化結果展示，支持數據導出為CSV/Excel格式

內置報告生成工具，可自定義測試報告模板

四、典型應用

半導體器件研發

I-V特性分析：評估導通電阻（Ron）、擊穿電壓（BV）、閾值電壓（Vth）等

C-V測試：測量輸入/輸出電容（Ciss/Coss）、反向傳輸電容（Crss）

脈衝I-V測試：評估器件的瞬態響應和開關特性

材料特性研究

Van der Pauw測量：用於測量材料的電阻率和霍爾係數

4點共線電阻係數測量：評估材料的均勻性和缺陷

納米器件測試

低電流測量：分辨率達0.1fA，適用於納米線、量子點等器件

超快速脈衝測量：評估納米器件的瞬態響應

五、維護與保養

定期校準

建議每6個月進行一次校準，確保測量精度

清潔與檢查

定期清潔主機和模塊表麵，避免灰塵積累

檢查測試夾具和探針的磨損情況，及時更換

模塊更換

更換模塊時，需先關閉主機電源，並按照說明手冊操作

六、安全注意事項

高壓/大電流測試

測試時需佩戴防靜電手環，避免靜電損壞器件

高壓測試時，確保測試區域無人員靠近

脈衝測試

脈衝電壓和電流可能對器件造成損傷，需謹慎設置參數

避免在未連接DUT時輸出脈衝信號

軟件操作

禁止在測試過程中斷開電源或網絡連接

避免在軟件中執行未經驗證的腳本或命令

七、常見問題解答

Q：如何選擇合適的測量模塊？

A：根據測試需求選擇：

4200-SMU：適用於小電流（<100mA）測試

4210-SMU：適用於大電流（<1A）測試

4200-PA：需擴展電流範圍時使用

4215-CVU：需進行C-V測試時選擇

Q：如何實現自動化測試？

A：通過Clarius Software編寫測試序列，支持循環測試、條件判斷等功能

Q：測試結果異常怎麽辦？

A：檢查以下項目：

測試夾具和探針是否接觸良好

模塊是否過熱（長時間測試後需冷卻）

軟件參數設置是否正確