穿越技術迷霧，指引測試之光
為電子測量儀器保駕護航，技術支持，一路相隨
2025/04
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是德科技B1500A產品使用說明書-Keysight技術支持中心
Keysight 是德科技B1500A 是一款高性能半導體器件參數分析儀，專為半導體器件的全麵電學表征設計。它支持電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、脈衝 IV、超快速 IV 等多種測量模式，廣泛應用於半導體研發、生產和可靠性測試領域。以下是天天爱天天爽測試科技小編整理的其說明書，如需詳細電子版可聯係客服領取。
一、主要特點
模塊化設計
主機提供 10 個插槽，支持多種測量模塊（如 SMU、CVU、脈衝發生器等），可根據需求靈活配置。
支持多通道並行測試，提升測試效率。
高精度測量
電壓分辨率：0.5 μV
電流分辨率：0.1 fA（需搭配高精度 SMU 模塊）
支持 1 kHz 至 5 MHz 的多頻率電容測量。
超快速測量能力
脈衝寬度：100 ns
采樣率：5 ns
可捕獲傳統儀器無法測量的超快速瞬態現象。
直觀操作界麵
配備 15 英寸觸摸屏，支持圖形化操作。
內置 EasyEXPERT group+ 軟件，提供 300 多種預置測試應用，簡化測試流程。
自動化與擴展性
支持通過 GPIB、USB、LAN 接口實現遠程控製。
可與探針台、分選機等設備集成，實現全自動化測試。
二、技術指標
參數 規格
電壓測量範圍 ±200 V
電流測量範圍 0.1 fA 至 1 A（需根據模塊選擇）
電容測量範圍 1 fF 至 10 μF
脈衝發生器 輸出電壓：±40 V；脈衝寬度：10 ns 至 100 μs
測量速度 最高 1000 點/秒（掃描模式下）
接口 GPIB、USB 2.0、LAN、觸發 I/O
三、硬件安裝
主機安裝
將主機放置在平穩的工作台上，確保通風良好。
連接電源線並接地。
模塊安裝
打開主機前蓋，將測量模塊插入空閑插槽，並擰緊固定螺絲。
連接模塊間的信號線纜（如需）。
外圍設備連接
通過 GPIB、USB 或 LAN 接口連接計算機。
連接探針台、測試頭等外圍設備。
四、軟件操作
EasyEXPERT group+ 軟件啟動
在計算機上啟動 EasyEXPERT group+ 軟件，選擇 B1500A 主機進行連接。
測試流程
選擇測試應用：從預置的 300 多種測試應用中選擇（如 IV 特性測試、CV 測試、脈衝 IV 測試等）。
配置測試參數：設置電壓/電流範圍、掃描步長、脈衝寬度等參數。
執行測試：點擊“開始”按鈕，儀器自動執行測試並顯示結果。
數據分析：軟件提供圖形化結果展示，支持數據導出和報告生成。
自定義測試
用戶可通過軟件編寫自定義測試序列，滿足特殊測試需求。
五、典型應用
半導體器件研發
用於 MOSFET、IGBT、二極管等器件的 IV、CV 特性測試。
超快速 IV 測試用於評估器件的開關特性和可靠性。
失效分析
通過脈衝 IV 測試檢測器件的缺陷和退化機製。
工藝監控
在晶圓級測試中，用於監控工藝參數的變化。
六、維護與保養
定期校準
建議每 6 個月進行一次校準，確保測量精度。
清潔
定期清潔主機和模塊表麵，避免灰塵積累。
模塊更換
更換模塊時，需先關閉主機電源，並按照說明手冊操作。
七、注意事項
安全操作
測試時需佩戴防靜電手環，避免靜電損壞器件。
高壓測試時，確保測試區域無人員靠近。
環境要求
工作溫度：15°C 至 35°C
相對濕度：20% 至 80%（非凝結）
模塊兼容性
不同模塊的電壓/電流範圍不同，需根據測試需求選擇合適的模塊。
八、常見問題解答
Q：如何選擇合適的測量模塊？
A：根據測試需求選擇，例如：
高精度 IV 測試：選擇 HPSMU（高功率源測量單元）。
超快速 IV 測試：選擇 MCSMU（中等電流源測量單元）或專用脈衝模塊。
Q：如何實現多通道並行測試？
A：在主機中插入多個 SMU 模塊，並在軟件中配置多通道測試序列。
Q：測試結果異常怎麽辦？
A：檢查以下項目：
測試夾具和探針是否接觸良好。
模塊是否過熱（長時間測試後需冷卻）。
軟件參數設置是否正確。
